Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials Dublin Core Títol Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials Autor Joseph M. Steigerwald Matèria Physical Sciences and Engineering Mechanical Engineering Editor Wiley Data de publicació 1997 Identificador 9783527617746 Font https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/9783527617746 Etiquetes Mechanical Engineering, Physical Sciences and Engineering Col·lecció Physical Sciences and Engineering ← ítem anterior Ítem següent →
