Computational Lithography Dublin Core Títol Computational Lithography Autor Xu Ma Matèria Physical Sciences and Engineering Electrical & Electronics Engineering Editor Wiley Data de publicació 2010 Identificador 9780470618943 Font https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/9780470618943 Etiquetes Electrical & Electronics Engineering, Physical Sciences and Engineering Col·lecció Physical Sciences and Engineering ← ítem anterior Ítem següent →