Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization Dublin Core Títol Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization Autor Yuzhuo Li Matèria Chemistry and Materials Science Chemical Engineering Editor Wiley Data de publicació 2007 Identificador 9780470180907 Font https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/9780470180907 Etiquetes Chemical Engineering, Chemistry and Materials Science Col·lecció Chemistry and Materials Science ← ítem anterior Ítem següent →
