Plasma Processes for Semiconductor Fabrication
- Autor
- Hitchon
- Matèria
-
- Engineering
-
- Physics and Astronomy
-
- Electronic
-
- Optoelectronic Devices
-
- and Nanotechnology
-
- Plasma Physics and Fusion Physics
- Editor
- Cambridge University Press
- Data publicació
- 1999
- Identificador
- 9780511529511
- Col·lecció
- Accés https://doi.org/10.1017/CBO9780511529511