Atomic Layer Deposition: Principles, Characteristics, and Nanotechnology Applications, Second Edition

Atomic Layer Deposition: Principles, Characteristics, and Nanotechnology Applications, Second Edition
Autor
Tommi Kriinen
Matèria
Editor
Wiley
Data publicació
2013
Identificador
9781118747407
Col·lecció
Accés
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/9781118747407